電子行業(yè)產(chǎn)生的廢氣具有排風量大、濃度低的特點。針對電子行業(yè)的廢氣排放特點，采用相應(yīng)的廢氣末端治理技術(shù)，主要還是吸附法或焚燒法。

吸附法,廢氣處理設(shè)備是活性炭吸附脫附+催化燃燒CO設(shè)備，活性炭屬非極性吸附劑，對非極性化合物有較強的吸附能力，一般可凈化低濃度VOCs；

燃燒法，廢氣處理設(shè)備是沸石轉(zhuǎn)輪+蓄熱式焚燒爐RTO設(shè)備，由廢氣旋轉(zhuǎn)輪的上游側(cè)進入濃縮轉(zhuǎn)輪的吸附區(qū)，使VOCs得到濃縮，在經(jīng)脫附燃燒處理。